日本MSA 高溫爐 硅片加熱爐

主要應(yīng)用。

用于加熱大型基材和玻璃的升降機，帶蓋熱板PA-LIF系列，晶圓加熱（RP系列），材料表面研究和評估，無機材料熱處理，耐熱性評估，烘烤等。RP系列有雙面加熱和石英鐘罩的選項，可以用于材料的氣體置換。 RP系列也可用于氣體置換和材料的加熱。

MSA工廠加熱知識

各種技術(shù)訣竅集中在材料（超級耐熱板、熱變形對策、鈦合金底盤）、加熱器設(shè)計、絕緣、熱輻射等方面。

高性能和多功能性

可提供定制的附加功能，例如用于加熱和運輸大型板材的升降機功能（垂直板材驅(qū)動），以及處理加熱過程中板材變形的真空吸盤功能。

安全功能

該控制器配備了安全功能，包括超溫監(jiān)測功能、緊急停止功能、泄漏檢測功能和負載斷開功能。

溫度控制范圍：室溫至1000℃ 溫度分布：±3%或更少（在加熱區(qū)域內(nèi)）

尺寸：RP-10080-4（用于4英寸），-6（用于6英寸），-8（用于8英寸）。

選項：石英鐘罩、質(zhì)量流量等，其他定制。

特點

超高溫（MAX 1000°C）硅片加熱爐 - 平行板式，用于均勻加熱 - 氣體吹掃功能（惰性氣體N2，Ar）。

控制器上標配的數(shù)字流量計 50 L/min (設(shè)置單位0.1 L/min)

氧氣兼容的質(zhì)量流量型選項 - 兩個控制器（用于上、下層熱板），具有溫度程序功能

石英鐘罩（氣體吹掃功能）選項